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什么是晶圆盒

2021-05-07 10:59:40

晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用,晶圆盒生产厂家为了简化运输和尽可能降低被污染的风险,芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。晶圆盒内部有对称的沟槽,尺寸严格统一用于支撑晶圆的两边,通常一个晶圆盒装25片晶圆。晶圆盒一般采用耐温,耐磨,防静电添加的半透明塑料材质,不同颜色的添加剂用于区分半导体生产中的金属制程段。由于半导体的关键尺寸小,图案密集,生产中的颗粒度要求非常严格,晶圆盒必须保证洁净的环境,来连接到不同生产机台的微环境盒反应腔。

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